84869099（集成电路（含半导体器件）制造用自粘式圆形抛光垫）

归类决定编号：Z2024-0017

归类决定税号：84869099

商品名称：集成电路（含半导体器件）制造用自粘式圆形抛光垫

规格型号：无

英文名称：

其他名称：

商品描述：该商品专用于集成电路（含半导体器件）制造工艺用的化学机械抛光（CMP）机，加工面材质为多孔聚氨酯泡沫，反面带有自粘材料，可以装配在抛光机的抛光平台上。配合抛光液对已经在晶圆表面蚀刻了电路的集成电路半成品（芯片可以有多层电路构成）进行抛光，抛光对象为由金属、半导体等材料构成的表面。

归类决定：该商品为抛光垫，是一种专用于加工集成电路的自粘式圆形抛光垫，参照十六类类注二关于零件的归类原则，根据归类总规则一及六，应归入税则号列8486.9099。